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半導体製造後工程モデルを使った最適化の解説

概要今回は前回の記事である半導体製造プロセス後工程のモデル作成の解説で作成した下図のようなモデル図：モデルを使って最適化を行う方法について解説します。今回はライン生産方式でのプロセス最適化の解説で行ったパラメーター推定に加えて、部品交換によるプロセスの停